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地層処分は、地下300メートル以上の深さとすることが法律（特定放射性廃棄物の最終処分に関する法律）で定められています。
これは、原子力委員会などで地下数百メートルよりも深い地層に処分するとされてきた考え方や、諸外国における処分計画の深度が地下300メートルよりも深いことなどを踏まえています。
実際の処分場は、地表から300メートル以上深いところで、地下水の流れがゆるやかであり、酸素がほとんどなく、地温が高すぎない、トンネル等を掘削できる強度をもっているなどの特性を持った十分な広がりのある地層（岩盤）に、その場所の隆起や侵食の速度等も考慮したうえで設置することになります。＜参考＞諸外国における処分場の深さ（現時点）
ユッカマウンテン（アメリカ）：約300メートル
WIPP（廃棄物隔離パイロットプラント、アメリカ）：約650メートル
フォルスマルク（スウェーデン）：約500メートル
オルキルオト（フィンランド）：約400～450メートル
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