法律（「特定放射性廃棄物の最終処分に関する法律」）において「地下300メートル以上の政令で定める深さの地層において、特定放射性廃棄物及びこれによって汚染された物が飛散し、流出し、又は地下に浸透することがないように必要な措置を講じて安全かつ確実に埋設すること」と定められています。
これは、原子力委員会などで地下数百メートルよりも深い地層に処分するとされてきた考え方や、アメリカ等の諸外国における処分計画の深度が地下300メートルよりも深いことなどを踏まえています。
なお、300メートル以深における適切な処分深度については、処分場が建設される地点によって異なるため、候補となる地域の地質環境特性や隆起・侵食の速度等を鑑みて設定されることとなります。