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精密調査は、法律（特定放射性廃棄物の最終処分に関する法律）に基づく文献調査、概要調査、精密調査という段階的な調査のうち、文献調査、概要調査に続く三番目（最終）の調査です。
精密調査では、概要調査よりも高精度かつ緻密に、地表踏査(※1)、物理探査(※2)、ボーリング調査(※3)等を実施した後、地下の調査坑道（トンネル）を設けて、岩盤や地下水の特性に関する調査・試験等を実施し、法律に記載された次の条件を満たす地域の中から処分施設の建設地を選定します。
①地下施設が異常な圧力を受けるおそれがないなど、岩盤の物理的性質が地下施設の設置に適していることが見込まれること②オーバーパック（金属製の容器）などが異常な腐食作用を受けるおそれがないことなど、岩盤や地下水の化学的性質が地下施設の設置に適していると見込まれること③地下水やその水流が地下施設の機能に障害を及ぼすおそれがないと見込まれること 等(※1) 地表踏査：地表面において、地層や岩石の分布や性状、地質構造、温泉や湧水・地下水（井戸）の性状、活断層の分布や性状等を調べる方法。
(※2) 物理探査：人工的に発生させた地震波や電磁波等を利用して、空中や地表、水上、水中から、地質構造や地質性状を間接的に調べる方法。
(※3) ボーリング調査：地表や水上から、地中に直径数cm～数十cmの円筒状の孔を掘り、採取した岩石資料や孔を用いた各種の計測により、地層や岩体などの分布や性状、地下水の流れ方や通しにくさ、水質、岩盤中の温度、岩盤の変形しにくさなどを調べる方法。
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